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麦克尼斯EDI超纯水处理设备在芯片制造应用
2021-11-19 09:49:23admin 293
麦克尼斯EDI超纯水设备在芯片行业中主要用来过滤芯片生产所需的纯水及超纯水。

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芯片制造是一连串精细且复杂的工艺,每个生产环节,不管大小,都有其重要性。麦克尼斯EDI超纯水设备在芯片行业中主要用来过滤芯片生产所需的纯水及超纯水。
 
芯片是工业领域都会使用到的一种原材料,2020年开始,由于智能产业,手机、汽车、家居等不断发展,导致全世界出现了一股芯片慌。工业对于芯片的需求量日益加大,对于芯片的精细化程度要去也日益提高。因此,芯片生产各工艺环节要求也不断提高。
 
芯片生产工艺流程图



 
麦克尼斯EDI使用在芯片生产哪些环节
整个产品水过滤环节是自来水进入原水箱,通过原水泵增压,经砂滤器、炭滤器、阻垢剂加药、保安过滤器,到达反渗透单元,经两级反渗透过滤进入麦克尼斯EDI单元,达到电阻率15MΩ·cm(25℃)进入纯水水箱。纯水供水设计为循环方式,经纯水供水泵增压,通过紫外线消毒器、抛光混床0.22微米过滤器接入纯水供水管,到达使用点。
芯片在进行延片清洗,使用冷却液进行冷却环节中,所使用的的水都是超纯水。一旦芯片表面吸附一些水中的微量元素,就有可能产生水垢,造成新盘损坏,因此所有半成品、成品清洗都需要使用是由氢氧分子的超纯水。
 
麦克尼斯EDI在芯片生产工艺使用注意事项
1. 使用前需要仔细阅读麦克尼斯EDI产品说明相关手册,熟悉产品操作方法及个部件使用规范以及一些注意事项等。
2. 设备开机前要检查盐箱液体水位高度,氮封箱水位高度,仪表空气压力值,氮气压力值,冷冻水压力值均在合理范围内。
3. 麦克尼斯EDI设备可以24小时不停歇运作。由于芯片生产密闭性强,因此在运行时一般不轻易关停设备,如果产线需要对于设备进行关机,要按照步骤来,先关闭计量泵,在关闭镇流器,待浓水电导值下降到40us之后,在关闭浓水循环泵,除盐水泵,真空泵,氮气泵,冷冻水阀。
 
EDI除盐技术发展从最开始的简易分离发展到现在的将点渗析和离子交换两项技术有机结合,产品本身已经经历了好几代的更迭,对于后期更高技术的除盐要去,麦克尼斯EDI超纯水设备也在不断的进行技术突破。
 
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